中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所南昌研究院
1、考研前紧张都属于正常 第一，看品牌
佛山市南海区狮山镇，沿着东西走向的桃园路一路前行，两侧创新平台林立，活力涌动。
不久前，广东中科半导体微纳制造技术研究院（下称“广东中科微纳院”）的2.4万平方米千级超净实验室里，首批工艺设备进场。未来这里的近300台套设备，将基本形成8吋MEMS芯片工艺和测试线，及第三代半导体材料及器件相关研发能力。
佛山正在重点发展半导体产业，力争到2025年相关产业营业收入超过100亿元。广东中科微纳院基于中国科学院资源，前身为中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所广东（佛山）研究院，2019年7月正式成立，旨在立足佛山，面向广东，辐射整个粤港澳大湾区，建设服务于半导体产业的高水平技术研发平台及公共服务平台。
目前，广东中科微纳院已获批广东省高水平新型研发机构、高水平创新研究院、省重点项目、佛山市工程技术研究中心等资质，组建了一支超过120人的多元化科研支撑团队，多个研究项目达到国内领先水平，形成了一批原创性成果，并孵化了一批产业化项目。
“落户三年来，研究院的发展离不开佛山市各级部门的大力支持，无论是财政支持、人才政策等软性配套，还是基础设施，让我们有了筑巢引凤的条件。”广东中科微纳院办公室主任王辉说。
广东中科微纳院发展规划图
引入中科院资源
打造半导体产业高水平技术研发平台
随着工艺设备的进场，广东中科微纳院的发展正不断步入正轨，将有力助推佛山半导体产业的发展。
佛山与中科院有深厚的合作渊源。早在2016年，广东省人民政府与中国科学院在广州签署“十三五”全面战略合作协议。根据协议，中科院将充分发挥创新资源优势，加大对广东的扶持力度，与广东携手争取国家在粤布局建设国家大科学中心，推动国家实验室等国家级科研平台建设，促进重大产业化成果在广东落地。
研究院成立的直接契机，则要回溯至2018年。随着粤港澳大湾区建设的加快推进，国内外顶级资源布局湾区成为热潮。“我们希望发挥中科院在国家创新驱动发展战略中的支撑和引领作用，培育创新动能，推进粤港澳大湾区建设。”王辉说。
“佛山领导对我们的项目非常重视，而且佛山产业聚集，几乎涵盖了所有制造业行业，和我们的项目有很强的结合度。另一方面，佛山文化开放，非常适合创新创业，这是我们选择佛山的重要原因。”
在此背景下，2019年7月，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所广东（佛山）研究院成立，2021年8月，更名为广东中科半导体微纳制造技术研究院。
面向国家重大战略及产业技术攻关需求，广东中科微纳院布局“MEMS微纳加工技术”“先进显示与探测技术”“能源电子与5G通信”等研究方向，做强从关键材料到核心器件与系统应用的科研力量，开展大尺寸硅基氮化镓关键材料外延、智能MEMS传感、功率器件、高精度柔性印刷电子器件等多种半导体材料与器件工程化研究。
王辉表示，通过“加工平台+研究中心+育成中心”的实业与服务并重的新型研发机构的运营模式，广东中科微纳院探索“产学研孵”融合发展的新型发展机制，目标建成产业技术源头创新基地、高技术成果转移转化基地、产业发展服务平台、高层次创新创业人才聚集高地，成为粤港澳大湾区的一流应用技术创新创业平台，提升粤港澳大湾区先进制造业和现代服务业的自主创新能力。
广东中科微纳院旨在建设服务于半导体产业的高水平技术研发平台及公共服务平台。
多领域齐头并进
“边建设、边科研、边发展”满足产业需求
自 2019 年建院以来，广东中科微纳院本着“边建设、边科研、边发展”的整体思路，基础建设与前沿创新、成果转化、产业孵化齐头并进，扎实推进研究院建设工作。
王辉介绍，目前，广东中科微纳院已在特色技术、科研成果方面，围绕电子信息主航道，率先实现8吋硅基氮化镓外延高质量材料生长，材料外延技术达到国内领先水平；蓝绿激光器性能指标大幅提升，实现国内领跑；攻克紫外光电子器件、氮化镓 HEMT 功率器件材料生长、器件工艺核心制备技术；精密印刷电子技术工程化应用等方面形成原创型成果。
今天的创新不是单打独斗，而是平台化创新。王辉透露，广东中科微纳院的8吋硅基MEMS芯片加工线和第三代半导体材料外延线将在年底前投入运行，届时不仅将服务于研究院的技术攻关，更重要的是将作为公共支撑服务体系的一环，面向企业、高校、科研院所开放。
研究院的创新成果，正在以最快的速度向产业转化。其中，精密印刷电子技术工程化应用方面，已孵化广东绿展科技有限公司，该公司是一家精密印刷集成电路与器件产品系统方案制造服务商，工艺能力属于业界领先水平，具备量产1-50μm线宽集成电路的能力。现已掌握可满足高精度、低成本、批量化的精密印刷电子技术。
日前，佛山首次宣布，力争到2025年半导体及集成电路产业营业收入超过100亿元。
佛山计划，围绕半导体及集成电路产业，政产学研联动推进若干重点细分领域技术突破，支持海内外企业、创新团队等在本地设立创新载体，牵引带动产业链上中下游企业机构联动布局，到2025年初步构建具有佛山特色的半导体产业发展生态圈。
“支持半导体产业发展的计划传递了佛山的决心和信心，也让我们备受鼓舞。创新不是口号，是企业和市场经济发展的必然需求，各个创新平台发展必须要适应发展规划。”王辉说。
“十四五”时期，打造战略科技平台、提升企业创新能力依然是佛山科技工作的重中之重。在王辉看来，企业和创新平台是佛山推动创新的发力点，佛山产业技术创新需求旺盛，这也意味着各个科研平台、院校科研有着极大的发挥空间。
【撰文】肖霞 张建杰
阅读更多：
迈向高水平 争当领头羊——佛山科技创新一线调研
【作者】 肖霞
【来源】 南方报业传媒集团南方+客户端
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所(中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所南昌研究院)